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Turn-Assist Serie - Roboterautomation von RoboJob. Automatisierung für Ihre CNC-Fräsmaschine. Mit der Roboterautomation Turn-Assist bietet RoboJob Standardlösungen für die Automatisierung von CNC-Drehmaschinen. Sie haben die Auswahl zwischen drei ‘Tisch’-Modellen, die die Flexibilität, Effizienz und Bedienerfreundlichkeit optimal unterstützen. Die Roboter-Modelle unterscheiden sich in den Abmessungen, der Leistung und dem maximalen Durchmesser der Werkstücke. Alle Automationsmodelle sind besonders kompakt, gut zugänglich und sichtbar. Die Turn-Assist Serie ist somit die kompakteste und bedienerfreundlichste Beladungslösung am Markt.

microfab verfügt über ein ausgeprägtes Know-how in der Oberflächenmikrobearbeitungfür das Design und die serielle Herstellung von akustischen MEMS Komponenten wie Silizium-Mikrofonen und Ultraschallwandlern (c-MUTs). Die elementaren Bausteine aller kapazitiven Schallwandler sind Membranen, die entweder durch elektrostatische Kräfte oder durch Schallwellen angeregt werden und hinsichtlich mechanischer Beanspruchung und Schichtdicke gut gesteuert werden können. microfab nutzt spezielle LPCVD-Verfahren (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) mit niedrigem Druck, wie siliziumreiche Nitride oder in-situ dotiertes Polysilizium in Kombination mit Opferschichttechnologien, um solche funktionellen Schichten aufzubauen. Alle Technologien sind nachweislich für die Serienproduktion in großen Stückzahlen geeignet und werden routinemäßig für kundenspezifische Komponenten eingesetzt.

Der kapazitive Ultraschallwandler (c-MUT) von microfab ist ein relativ neues Konzept auf dem Gebiet der Ultraschallwandler. Die meisten kommerziellen Ultraschallwandler basieren heutzutage auf einem piezoelektrischem Wirkprinzip. Aktuelle c-muts werden unter Verwendung von Oberflächenmikromechanik auf Silizium gefertigt. Eine Kavität ist in einem Siliziumsubstrat ausgebildet, und eine dünne Schicht, die über dem Hohlraum gespannt ist, dient als Membran, auf der eine leitende Schicht als obere Elektrode zusammen mit dem Siliziumsubstrat als untere Elektrode wirkt. Da c-MUTs mikrobearbeitete Bauelemente sind, ist es mit dieser Technologie einfacher, 2D-Arrays von Wandlern zu konstruieren. Dies bedeutet, dass eine große Anzahl von c-MUTs in einem Wandlerarray enthalten sein könnte, das zudem im Vergleich zu anderen Wandlertechnologien eine deutlich größere Bandbreite bietet. Ein Hochfrequenzbetrieb mit c-MUTs ist aufgrund seiner kleineren Abmessungen einfacher. Die Betriebsfrequenz hängt von der Zellgröße, der Höhe der Kavität und von der Steifheit des als Membran verwendeten Materials ab.

Im Vergleich zu herkömmlichen piezoresitiven Drucksensoren mit Volumenmikromechanik weist die innovative microfab-Entwicklung zahlreiche Verbesserungen auf, darunter das außergewöhnlich kleine Bauteilvolumen von weniger als 0,4 mm³ – ein Vorteil, der völlig neue Anwendungsmöglichkeiten eröffnet. Dank des implementierten kapazitiven Messprinzips auf einem nicht leitenden Quarzglas-Substrat zeigt der Drucksensor nur extrem geringe parasitäre Effekte. Der Sensor ist besonders widerstandsfähig gegen äußere Einflüsse wie Überdruck, Temperatur oder einfallendes Licht. Bemerkenswert ist auch die hohe Empfindlichkeit des Sensors: Trotz seines breiten Messbereichs ist ein hohes Maß an Empfindlichkeit garantiert. Der oberflächenmikrobearbeitete kapazitive Drucksensor benötigt nur extrem wenig Energie für die Sensorauswertung und das konstruktive Design ermöglicht eine große Flexibilität beim Packaging.

ALL-IN-ONE FLUIDISCHES RÜCKSCHLAGVENTIL MIT VERNEBLUNGSDÜSEN microfab hat ein patentiertes Mikrorückschlagventil entwickelt, dass für alle fluidischen Anwendungen genutzt werden kann, in denen extrem miniaturisierte Bauelemente benötigt werden. Zusammen mit den frei designbaren Düsen können Fluidik Sprühdüsen angeboten werden, die vom feinsten Nebel bis hin zu einem gerichteten Flüssigkeitsstrahl auf die Bedürfnisse der Anwendung angepasst werden können. Voll integriert bringt diese Kombination aus Rückschlagventil und Düsen-Applikation große Vorteile, wo es auf geringen Platzbedarf und hohe Integrationsdichte ankommt.